제품소개

기타장비

베스트초이스의 ESS SYSTEM에 최적화된 기술입니다. 독자적인 무용접 방식의 기술을 개발하여 기존 용접방식의 불합리한 기술을 해결하였습니다.
탁월한 배터리 관리 솔루션 특허기술을 사용하여, 고객의 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

개요

1X급(19nm) 대응 차세대 매엽식 세정설비

특징

  • High Speed Robot Technology
  • High Grade Process (19nm)
  • High Temperature SPM Process Over 150℃
  • Customized Chamber Configuration : 6, 9 or 12 Chambers
  • State of the art Particle Improvement Technology
  • User-Convenience (Vision Inspection, Tool Matching)